Veeco外延設備濾芯的核心功能與應用場景:
1.液壓系統過濾
作用:在外延設備的液壓系統中,濾芯用于過濾液壓油中的顆粒污染物(如金屬屑、氧化物、橡膠碎渣等),防止雜質進入高壓泵、控制閥等關鍵部件,避免磨損、卡滯或泄漏。
典型場景:
晶圓承載臺的升降、旋轉等運動依賴液壓驅動,濾芯保障液壓油清潔,確保運動平穩性和定位精度。
高溫外延工藝中,液壓系統可能因熱膨脹產生微小顆粒,濾芯可攔截這些污染物,防止系統失效。
2.潤滑系統過濾
作用:在設備的傳動部件(如軸承、齒輪、導軌)中,濾芯通過過濾潤滑油中的雜質,減少摩擦面的磨損,延長機械部件壽命。
典型場景:
外延生長室的旋轉基座、氣體分配盤等部件需要持續潤滑,濾芯防止油污中的顆粒劃傷精密表面。
高速旋轉設備(如MOCVD反應腔的氣體渦輪)依賴清潔潤滑油,濾芯可避免渦輪葉片因污染導致振動或失效。
1.保障工藝穩定性
外延生長對設備機械穩定性要求高(如原子層沉積需納米級平整度),液壓/潤滑系統的微小污染可能導致基片抖動或溫度波動,濾芯通過維持油液潔凈,間接提升薄膜均勻性。
2.防止交叉污染
在MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)或CVD(化學氣相沉積)設備中,液壓油泄漏可能帶入反應腔,濾芯可減少油污對晶圓的污染風險。
3.延長設備壽命
液壓泵、伺服閥等關鍵部件成本高昂,濾芯通過過濾顆粒物,可顯著降低因磨損導致的維修頻率,尤其對24小時連續運行的量產設備至關重要。
